美巨頭搞小圈圈 臺積電遭排擠?教父挖出這段內幕:結局驚人

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臺積電早年被EUV聯盟孤立,但後來在先進製程超車三星、英特爾等對手。(示意圖/達志影像/shutterstock)

近幾年,臺積電坐穩晶圓代工龍頭老大,在先進製程超越三星、英特爾等對手,後來在 EUV(極紫外光) 量產也領先,技術上彎道超車英特爾。但臺積電前研發副總、浸潤式微影之父林本堅日前回憶一段往事,提到臺積電早年發展相當艱辛,2002年英特爾號召業界成立EUV LCC聯盟,臺積電也想加入,但當初只限6家廠商,最後一個名額被IBM搶走,臺積電就被排除在外,不過臺積電轉往浸潤式微影技術發展,後來EUV 量產領先,甚至超車當年成立聯盟的英特爾。

財訊快報報導,林本堅日前受訪時表示,2002年英特爾拉攏摩托羅拉、AMD(超微)等公司成立EUV LCC聯盟,希望大家共同出資研發EUV設備,並應用於未來的40奈米與60奈米。

當時臺積電也希望加入EUV聯盟,但因當初只限定6家廠商,IBM搶走最後一個名額,臺積電無緣,而被排擠在外。

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林本堅表示,臺積電無法參與EUV聯盟,只好自己想辦法,轉而研發浸潤式(Immersion)微影技術,直到近幾年的5奈米制程,才採用艾司摩爾的EUV機臺設備。

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當年EUV聯盟的半導體企業中,除了英特爾之外,其他5家已退出晶片製造,而截至目前爲止,英特爾尚未進入EUV量產,從先進製程技術來看,臺積電反而大幅超前,穩居全球晶圓代工一哥寶座。

對於臺積電來說,現年79歲的前研發副總經理林本堅是臺積電先進技術躍進重要推手,他在IBM工作22年後,選擇在美國自行創業將近10年,2000年在蔣尚義力邀下,加入臺積電團隊,並在2002年開始推動浸潤式微影技術,此項技術對全球半導體產業及臺積電先進製程貢獻極大。

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